測量真空爐的溫度均勻性

1. 準備工作
    將測量熱電偶及控溫熱電偶按GB/ J351 —1996 《中華人民共和國國家計量鑒定規(guī)程》中相關規(guī)定進行檢測，檢測合格方能進行爐溫均勻性測定。自爐體拆下測溫孔的蓋板，將9 根經(jīng)過檢測合格的熱電偶依次穿上密封墊圈、橡膠墊圈，自法蘭孔中引入爐腔內(nèi)，并依次按圖1 位置固定在位于爐門口支撐架上，支撐架的尺寸為有效加熱尺寸。將支撐架小心地移入爐腔內(nèi)，放在爐床上，調(diào)整其位置，使之恰好與有效加熱空間重合。固定測溫法蘭的熱電偶孔，依次放入密封墊圈，橡膠墊圈上涂布真空脂，旋緊壓緊螺栓，安裝好法蘭。按操作規(guī)程手動先后啟動真空機械泵、真空羅茨泵抽真空，直到工作真空度到達2 Pa 后，停機30 mi n ，觀察真空計讀數(shù)，看壓升率是否在正常的0. 5Pa/ h 之內(nèi)，正常則繼續(xù)進行爐溫均勻性的測量，不正常則重新調(diào)整旋緊螺栓，重新測定壓升率，直到正常，才能繼續(xù)進行爐溫均勻性的測定。
2. 測定過程
   根據(jù)工藝需求進行選定測量溫度點為650 ℃、850 ℃和1000 ℃，在FP21 控溫儀表上，設定升溫曲線。在控制偶到設定溫度120min 后，開始測定各支熱電偶的值。每隔5min 讀取1 次，連續(xù)3 次，如果各點溫度在所要求溫度的±5 ℃ 以內(nèi)，則此溫度點測量完畢，否則繼續(xù)等溫，直到溫度均勻或時間到達3h （ 工藝設定的保溫時間） 為止并記錄各點的溫度。調(diào)整FP21 表，自650 ℃升溫至850 ℃，保溫120min，重復650 ℃溫度點測量步驟。同樣自850 ℃升溫到1100 ℃，保溫120min，重復650 ℃溫度點測量步驟。以上數(shù)據(jù)分別填入記錄表中，完成測定后，按正常的空爐冷卻步驟進行降溫。
3. 恢復設備
   打開爐門，拉出測量支架，拆開固定熱電偶的鐵絲，拆下法蘭盤，安裝好原蓋板，按正常使用進行壓升率測試，按操作規(guī)程手動先后啟動真空機械泵、真空羅茨泵抽真空，直到工作真空度到達2Pa 后，停機30min，觀察真空計讀數(shù)，看壓升率是否在正常的0. 5Pa/ h 之內(nèi)，合格則繼續(xù)，設備可以正常使用，否則繼續(xù)重新安裝原測溫口蓋板。從測溫法蘭盤中拆下測量熱電偶，注意抽出時要小心取直，以防止折斷、損壞熱電偶。